臺(tái)式納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試，測(cè)試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計(jì)算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。
 

　　劃痕法通過使用不同的傳感器(聲發(fā)射、劃痕位移、摩擦力)和視頻顯微鏡觀察獲得臨界載荷數(shù)據(jù)來量化不同的膜-基材組合的結(jié)合性能。
 

　　主要研究材料的磨損或去除機(jī)制，廣泛應(yīng)用于薄膜或涂層結(jié)合強(qiáng)度的測(cè)試。影響納米劃痕過程的主要因素包括壓頭類型、劃痕速度、劃痕深度和材料特性等.
 

　　在納米壓痕測(cè)試時(shí)的常見問題如下：
 

　　①納米壓痕條件設(shè)置，幾種模式的區(qū)別?
 

　　納米壓痕分為靜態(tài)位移控制模式、靜態(tài)載荷控制模式、連續(xù)剛度模式。
 

　　連續(xù)剛度只能設(shè)定位移，不能設(shè)定載荷，可以得到彈性模量和硬度隨位移的變化值。有系統(tǒng)設(shè)定的保載時(shí)間，一般很短，大約幾秒鐘;(常用模式)
 

　　靜態(tài)位移控制模式，靜態(tài)載荷控制模式，可以設(shè)定到最大位移或最大載荷處保載長(zhǎng)一些時(shí)間，一般系統(tǒng)默認(rèn)每個(gè)點(diǎn)可以15s左右，也可以設(shè)定長(zhǎng)一些，例如30,40s都是可以的，不過時(shí)間越長(zhǎng)收費(fèi)會(huì)貴一些;載荷模式可以控制保載時(shí)間，一般默認(rèn)是10s，如有特殊要求可適當(dāng)增加時(shí)間，也適當(dāng)增加;位移模式不可以;靜態(tài)模式無法得到彈性模量和硬度隨位移的變化，只能得出該點(diǎn)在該深度或載荷處的最終彈性模量和硬度結(jié)果;
 

　　②納米壓痕為什么不是100%卸載?
 

　　納米壓痕卸載一般都是90%，如果載荷控制的測(cè)試方法，卸載率設(shè)置100%的話，有可能會(huì)出現(xiàn)熱漂移(卸載后位移出現(xiàn)大量的負(fù)數(shù));
 

　　③壓痕直徑和深度的關(guān)系?
 

　　納米壓痕測(cè)試壓痕的直徑跟壓入深度有一定的換算關(guān)系：一般有個(gè)概值估算，壓痕直徑=7.5×壓痕深度;
 

　　④納米壓痕的壓痕位置在圖片上看不清?
 

　　因?yàn)?)材料本身在壓頭抬起后壓痕位置回彈而導(dǎo)致，2)樣品表面顏色較深，不太干凈也會(huì)導(dǎo)致看不清壓痕位置;
 

　　⑤壓頭的材料?壓頭尖曲率?
 

　　金剛石材料、玻土壓頭;新的壓頭是一般小于20nm但是久了肯定會(huì)大，可能100nm;