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電子束曝光系統(tǒng)
021-64283335
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電子束曝光系統(tǒng):微觀(guān)世界的精密畫(huà)師
晶圓探針式輪廓儀是半導(dǎo)體制造中的精密守望者
三維光學(xué)輪廓儀是精準(zhǔn)測(cè)量領(lǐng)域的新星
ELS-F125是Elionix推出的世界上1st臺(tái)加速電壓達(dá)125KV的電子束曝光系統(tǒng),其可加工線(xiàn)寬下限為5nm的精細(xì)圖形。(以下參數(shù)基于ELS-F125)
服務(wù)熱線(xiàn):13501903943